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产品&技术

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Array-自动线宽测量设备(CDOL)

平板显示非晶硅阵列检测(a-Si Array)



   
Array-自动线宽测量设备(CDOL)是用于平板显示面板工艺中关键尺寸的线宽和叠合度检测。采用业界独创的光学显微镜系统和优化的应用功能配置以满足高节拍、多尺寸面板检测和客制化应用等各种需求。


    应用范围:

Ø  G2.5代到G11代 TFT-LCD面板厂Array Offline CDO

 

主要功能:

Ø  关键尺寸测量(critical dimension)

Ø  叠合度测量(overlap)

Ø  手动和自动拍照系统

Ø  测量结果补偿和报警系统

Ø  面板质量判级系统( Defect Judge)

Ø  数据分析和趋势统计

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