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运动及控制

运动平台采用分段式非接触的气浮平台,提高了玻璃基板的平整度,实现了高精度高速检测。模块化的机械设计提高了平台可靠性,平台主体构型兼容多种照明系统,且适用于在线和离线检测技术。运动控制电机定位精度达到纳米级别。


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