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首台国产11代线高端量测设备(CDOL)交付TCL华星

        2020年初,中导光电成功研制首台国产11代线高端量测设备(CDOL:自动线宽测量机),并且于当年7月2日正式交付TCL华星T7工厂投入使用,这是中导光电继G8.5代线以下CDOL设备国产化之后又一重大突破,标志着中导光电在填补多项国内技术空白后,最终将平板显示高端量测设备(CDOL)的短板全部补齐。

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       平板显示制造业属于半导体工业,是当代高端制造的一个战略制高点,因此也是《中国制造2025》重点支持的产业领域,平板显示设备制造业则是平板显示制造业的基础和关键所在,成为重中之重。由于历史的原因,中国平板显示设备长期被国外几家半导体设备供应商所垄断,尤其是前段(显示器面板在切割通电之前的工艺过程)设备,由于技术门槛高,综合性大,制造工艺复杂,以及战略意义重大等特点,一直是国外半导体设备供应商争夺的热点,也是我国高端装备制造的主要短板之一。
       
TFT-LCD制造领域,由于各厂商对成本与效率指标的追求,新产线投资主要向大世代方向发展,11代线是当前世界范围内的最大世代产线。随着产线工艺尺寸的大幅提升,以及就良品率指标的进一步严苛,对产线设备的各方面技术指标提出了更为苛刻的要求。中导光电研发和生产的一系列检测和量测设备,正是提高产线良品率的、必不可少的重要生产设备。此次中导光电11代线CDOL(关键尺寸量测)高端设备的交付,是中导光电在填补多项国内该领域技术空白后的又一重大技术突破。

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       中导光电成立于2006年,是一家长期专注于平板显示高端检测装备研发、生产与销售的高新技术企业。公司创始人团队全部来自于美国硅谷顶尖半导体检测装备企业,具有该领域丰富的研发经验和深厚的技术积累。企业成立至今,累计销售各类高端检测设备产品逾300余台套,装机范围覆盖中国大陆及中国台湾数十条重要产线,并与京东方、TCL华星、深天马等国内多个主要平板显示制造企业建立了良好合作关系。

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       公司核心产品自动光学检查机(AOI)系列,主要应用于平板显示前道制程的缺陷检测,竞争对手为以色列奥宝科技、韩国HBT等海外企业。目前,公司AOI产品有线阵、面阵、离线、在线等不同种类和不同世代的各种组合,种类覆盖范围与世界行业龙头奥宝科技处同一水平。
       
中导光电此次交付的CDOL设备,是公司除自动光学检测设备(AOI)系列之外的另一拳头产品。该设备主要应用于平板显示前道制程领域的关键线宽尺寸测量,最高测量精度为亚微米级,重复精度达到20nm,处于国内领先和国际先进水平。中导光电研发和生产的一系列检测和量测设备,均是提高平面显示屏制造厂商产线良品率的、必不可少的重要生产设备。


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