• 由客户选择的多种检测模式（高灵敏度、高检测速度和标准生产检测模式）帮助客户优化设备性能和降低设备使用成本

• 非接触性“检测样品”支撑方式避免检测样品的任何损坏

• 集成一体的高分辨率自动聚焦显微镜提供用户缺陷复核和缺陷分类能力，以及高分辨率缺陷图像

• CIM软件同所有生产厂家生产控制系统相兼容

• 选择性功能提供用户更多运用
    ADC (Auto-Defect Classification)
    DM (Digital Macro-Image)
    CD Overlay
    Periphery inspection
    YES (Yield Enhancement Software)

• 设备的小“占地面积小”帮助用户节约超净室（Clean-Room）空间